详细介绍
美国贵厂惭 薄膜应力及基底翘曲测试设备
??在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。
??1) 快速、非接触式测量
??2) 128型号适用于3至8寸晶圆
??128尝型号适用于12寸晶圆
??128G 型号适用于470 X 370mm样品，
??另可按要求订做不同尺寸的样品台
??3) 双激光自动转换技术
??如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用
??另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用
??4) 全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄(可选)
??5) 可加入更多功能满足研发的需求
??电介质厚度测量
??6) 500 及 900°C高温型号可选
??7) 样品上有图案亦适用
美国贵厂惭 薄膜应力及基底翘曲测试设备 &苍产蝉辫;贵厂惭128规格
??1) 测量方式: 非接触式(激光扫瞄)
??2) 样本尺寸:
??FSM 128NT: 75 mm to 200 mm
??FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm
??FSM 128G: /大550×650 mm
??3) 扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)
??4) 激光强度: 根据样本反射度自动调节
??5) 激光波长: 650nm及780nm自动切换(其它波长可选)
??6) 薄膜应力范围: 1 MPa — 4 GPa
??(硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)
??7) 重复性: 1% (1 sigma)*
??8) 准确度: ≤ 2.5%
??使用20米半径球面镜
??9) 设备尺寸及重量:
??FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs
??FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs
??FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs
??电源 : 110V/220V, 20A
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